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发明名称 METHOD FOR MEASURING CLEANINESS OF SURFACE OF SAMPLE
摘要
申请公布号 JPH07260768(A) 申请公布日期 1995.10.13
申请号 JP19940072495 申请日期 1994.03.16
申请人 NAKAYAMA SHOJI KK;IBARAKI PREF GOV 发明人 NAKAYAMA HIDEO;KUROKAWA HAJIME;TAKAHAGI YASUSHI;ASANO TOSHIYUKI
分类号 G01N30/74;G01N30/88;(IPC1-7):G01N30/88 主分类号 G01N30/74
代理机构 代理人
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