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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH07263359(A) 申请公布日期 1995.10.13
申请号 JP19940056100 申请日期 1994.03.25
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 AKAHORI TAKASHI;KATAYAMA HIROTSUGU
分类号 C23C16/34;C23C16/40;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
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