| 发明名称 |
SULFONIUM SALT AND RESIST MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07252214(A) |
申请公布日期 |
1995.10.03 |
| 申请号 |
JP19950019844 |
申请日期 |
1995.01.12 |
| 申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
WATANABE SATOSHI;SHIMADA JUNJI;OSAWA YOICHI;TAKEMURA KATSUYA;ISHIHARA TOSHINOBU;MARUYAMA KAZUMASA |
| 分类号 |
G03F7/004;C07C381/12;C08K5/36;G03F7/039;H05K3/06;H05K3/08;(IPC1-7):C07C381/12 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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