| 发明名称 |
Method for the deposition of thin films by electron bombardment |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3132046(A) |
申请公布日期 |
1964.05.05 |
| 申请号 |
US19600059089 |
申请日期 |
1960.09.28 |
| 申请人 |
SPACE TECHNOLOGY LABORATORIES, INC. |
发明人 |
MANN HORACE T. |
| 分类号 |
B05D3/06;B05D7/24;C08F2/54;C23C14/04;H01B1/00 |
主分类号 |
B05D3/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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