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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07249639(A) 申请公布日期 1995.09.26
申请号 JP19940041476 申请日期 1994.03.11
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ONO KATSUJI
分类号 H01L29/812;H01L21/338;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
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