发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH07245389(A) 申请公布日期 1995.09.19
申请号 JP19940032711 申请日期 1994.03.03
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HARA NAOKI
分类号 H01L21/28;H01L21/338;H01L29/43;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/778 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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