| 摘要 |
Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van preparaten voor Hoge Resolutie Elektronen Microscpie (HREM). Met de bekende techniek van ion-milling kunnen preparaten worden vervaardigd die voldoende dun zijn om elektronen transparant te zijn, hetgeen een voorwaarde is voor HREM-materiaalonderzoek. Deze bekende techniek heeft echter het nadeel dat na behandeling op het oppervlak van het preparaat amorf materiaal achterblijft. Dit kan leiden vervaging van het beeld van het oppervlak en onjuiste materiaal analyse. Volgens de uitvinding wordt het oppervlak van het preparaat, eventueel na ion-milling, blootgesteld aan ionen die onttrokken worden aan een in de nabijheid van dat oppervlak opgewekt plasma. Hiermee wordt vorming van storende amorfe delen op het preparaatoppervlak vermeden. |
