发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07240386(A) 申请公布日期 1995.09.12
申请号 JP19940030208 申请日期 1994.02.28
申请人 SHARP CORP 发明人 HIRAIWA AKITO;DOI YOSHIMI
分类号 H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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