发明名称 ETCHING EQUIPMENT AND ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07240396(A) 申请公布日期 1995.09.12
申请号 JP19940030550 申请日期 1994.02.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KARAHASHI KAZUHIRO
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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