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发明名称 Korrekturverfahren für Maske.
摘要
申请公布号 DE68923638(D1) 申请公布日期 1995.09.07
申请号 DE1989623638 申请日期 1989.03.28
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 AMEMIYA, MITSUAKI, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;UZAWA, SHUNICHI, SETAGAYA-KU TOKYO, JP
分类号 G03F1/00;(IPC1-7):G03F1/00 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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