发明名称 VARIABLE RESISTOR, MANUFACTURE THEREOF, AND INTEGRATED CIRCUIT EQUIPMENT THEREWITH
摘要
申请公布号 JPH07235637(A) 申请公布日期 1995.09.05
申请号 JP19940022357 申请日期 1994.02.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAKAZAWA HIROYUKI;ISHIKAWA KYOSUKE;KAGAYA OSAMU;OISHI YOSHIHISA
分类号 H01L27/04;H01L21/822;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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