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发明名称 METAL PLUG FORMING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07231027(A) 申请公布日期 1995.08.29
申请号 JP19940044947 申请日期 1994.02.18
申请人 SONY CORP 发明人 TAMIYA NAOMIKI
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/306 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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