| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07221175(A) |
申请公布日期 |
1995.08.18 |
| 申请号 |
JP19940010488 |
申请日期 |
1994.02.01 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
SATO NOBUYOSHI;OOTA TOMOHIRO |
| 分类号 |
H01L21/768;H01L21/316;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
