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发明名称 PROJECTION EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH07220997(A) 申请公布日期 1995.08.18
申请号 JP19940009867 申请日期 1994.01.31
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KAMON KAZUYA
分类号 G02B17/06;G02B27/46;G02B27/58;G03B27/32;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G02B17/06
代理机构 代理人
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