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发明名称 HEAT TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07221037(A) 申请公布日期 1995.08.18
申请号 JP19940032890 申请日期 1994.02.03
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 SASAKI KIYOHIRO
分类号 C23C14/50;G05D23/19;H01L21/22;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
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