| 发明名称 |
ATMOSPHERIC PRESSURE GLOW DISCHARGE ELECTRODE AND PLASMA PROCESSING METHOD THEREWITH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07220895(A) |
申请公布日期 |
1995.08.18 |
| 申请号 |
JP19940009945 |
申请日期 |
1994.01.31 |
| 申请人 |
II C KAGAKU KK;OKAZAKI SACHIKO;KOKOMA MASUHIRO |
发明人 |
UCHIYAMA HIROSHI;AKAZOME GIICHI |
| 分类号 |
H05H1/46;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/24;(IPC1-7):H05H1/46 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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