首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
SYSTEM AND METHOD ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号
JPH07211609(A)
申请公布日期
1995.08.11
申请号
JP19940023244
申请日期
1994.01.25
申请人
NEC CORP
发明人
YAMASHITA HIROSHI
分类号
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
防尘防水多用途LED光电源总成
变频变流磁推挤胶机
一种溶剂型绝缘胶、应用该绝缘胶的圆网胎膜及其制备方法
罗非鱼专用调味料及其使用方法
一种男士饮用枣酒的制备方法
一种热固性硼酚醛树脂粉末的制备方法
一种可生物降解的交联型聚合物电解质膜及其制备方法
一种卡琳型金尾矿烧结墙体材料及其制备方法
OLIGO-BENZAMIDE COMPOUNDS AND THEIR USE
SPARK-IGNITION INTERNAL COMBUSTION ENGINE
一种富维生素E茶油
TRANSMISSION DEVICE, BANDWIDTH CONTROL METHOD AND COMPUTER PROGRAM
INTAKE MODULE FOR A COMBUSTION ENGINE
一种用于光学玻璃镜片粘接的光固化胶粘剂及其制备方法
一种临近建筑物汽车坡道后施工方法
一种仔猪安抚剂及其制备方法和应用
磁共振成像装置及磁共振成像方法
使用玉米秸秆制醋的方法
一种用于肿瘤探测的声电联合分析装置
基片处理装置及为此使用的覆盖构件