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发明名称 METHOD FOR DETECTING END POINT OF ETCHING
摘要
申请公布号 JPH07211693(A) 申请公布日期 1995.08.11
申请号 JP19940001809 申请日期 1994.01.13
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 YANASE NOBORU
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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