WIRING RELIABILITY EVALUATION APPARATUS AND USE OF THE SAME,申请号JP19930336163-传众专利搜索

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发明名称	WIRING RELIABILITY EVALUATION APPARATUS AND USE OF THE SAME
摘要
申请公布号	JPH07201943(A)	申请公布日期	1995.08.04
申请号	JP19930336163	申请日期	1993.12.28
申请人	MATSUSHITA ELECTRON CORP	发明人	NISHIMURA KOICHI
分类号	G01R31/02;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66	主分类号	G01R31/02
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