发明名称 |
DEVICE FOR VAPOR DEPOSITION |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH07201743(A) |
申请公布日期 |
1995.08.04 |
申请号 |
JP19930336431 |
申请日期 |
1993.12.28 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
OKAMOTO TORU;MURAKAMI SATOSHI;MARUYAMA KENJI |
分类号 |
H01L21/205;H01L21/31;H01L21/316;H01L27/12;H01L31/0264;(IPC1-7):H01L21/205;H01L31/026 |
主分类号 |
H01L21/205 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|