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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0769364(B2)
申请公布日期
1995.07.31
申请号
JP19870051707
申请日期
1987.03.06
申请人
发明人
分类号
G01R23/16;G01D1/12;G01R13/20;G01R13/30;G01R23/173;G01R23/18;(IPC1-7):G01R23/16
主分类号
G01R23/16
代理机构
代理人
主权项
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