| 发明名称 |
FASTENING USED FOR APPARATUS FOR PROCESSING SEMICONDUCTOR WAFER AND ALLOWING WAFER RELEASE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07188921(A) |
申请公布日期 |
1995.07.25 |
| 申请号 |
JP19940281369 |
申请日期 |
1994.10.20 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOC INC |
发明人 |
ADORUPASU EDEII MAKURANAHAN;FUREDERITSUKU TOOMASU TAANAA;KENESU ERITSUKU ANDAASON;FUIRITSUPU BURENTO NIKORUSON;MAACHIN ARUBAATO HATSUCHINSON |
| 分类号 |
C23C14/50;H01L21/687;(IPC1-7):C23C14/50 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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