发明名称 COLLIMATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07188917(A) 申请公布日期 1995.07.25
申请号 JP19940267396 申请日期 1994.10.31
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 RODERITSUKU SHII MOZURII;AIBUO JIEI RAAIJIMEIKAAZU;HIROJI HANAWA
分类号 C23C14/34;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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