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发明名称 Verfahren zur Herstellung von DRAM-Speicherzellen mit Stapelkondensatoren mit Flossenstruktur
摘要
申请公布号 DE4201506(C2) 申请公布日期 1995.07.20
申请号 DE19924201506 申请日期 1992.01.21
申请人 GOLD STAR ELECTRON CO., LTD., CHUNGCHEONGBUK, KR 发明人 KIM, HONG SUN, DAEJUN, KR
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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