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发明名称 EVALUATION METHOD FOR PROBE TIP SURFACE SHAPE OF SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH07174769(A) 申请公布日期 1995.07.14
申请号 JP19930321519 申请日期 1993.12.21
申请人 ADVANTEST CORP 发明人 OGISO YOSHIAKI
分类号 G01B7/34;G01B21/30;G01N37/00;G01Q70/00;G01Q90/00;H01J37/22;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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