| 发明名称 |
EXTRACTION OF SPATIALLY VARYING DIELECTRIC FUNCTION FROM ELLIPSOMETRIC DATA. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0662215(A1) |
申请公布日期 |
1995.07.12 |
| 申请号 |
EP19930920238 |
申请日期 |
1993.08.20 |
| 申请人 |
BELL COMMUNICATIONS RESEARCH, INC. |
发明人 |
ASPNES, DAVID, ERIK |
| 分类号 |
G01B11/06;C30B25/02;G01N21/21;H01L21/205;(IPC1-7):G01N21/00 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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