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发明名称 Verfahren und Einrichtung zur Erfassung thermischer Spannungen in integrierten Schaltungen.
摘要
申请公布号 DE69019688(D1) 申请公布日期 1995.06.29
申请号 DE19906019688 申请日期 1990.11.22
申请人 WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP., PITTSBURGH, PA., US 发明人 BROADWATER, STUART PAUL, WHITE HALL, MARYLAND 21161, US;HAVLIK, JOHN, SPARKS, MARYLAND 21152, US
分类号 H01L29/78;H01L27/02;H02H5/04;(IPC1-7):H02H5/04 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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