发明名称 Method for preparing hexamethyl cyclotrisilazane.
摘要
申请公布号 EP0452960(B1) 申请公布日期 1995.06.28
申请号 EP19910106353 申请日期 1991.04.19
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 OHSAKI, HIROMI, SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.;TAKEDA, YOSHIHUMI SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.;ISHIHARA, TOSHINOBU, SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.;HAYASHIDA, AKIRA, SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
分类号 B01J31/02;C07F7/10;C07F7/21;(IPC1-7):C07F7/21 主分类号 B01J31/02
代理机构 代理人
主权项
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