| 发明名称 |
ILLUMINATING OPTICAL DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07161610(A) |
申请公布日期 |
1995.06.23 |
| 申请号 |
JP19930306266 |
申请日期 |
1993.12.07 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
KOMATSUDA HIDEKI;YAMAMOTO NORIAKI;MORI KOJI |
| 分类号 |
G02B27/00;G03B27/54;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027;G03B27/32 |
主分类号 |
G02B27/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
