Verfahren und Laminat zum Verhindern des Eindringens einer Ätzflüssigkeit in die Grenzfläche zwischen einer Schutzmaske und einer unterliegenden Metallschicht.
摘要
申请公布号
DE68922715(D1)
申请公布日期
1995.06.22
申请号
DE1989622715
申请日期
1989.12.23
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US
发明人
MEMIS, IRVING, VESTAL N.Y. 13850, US;ROVENTE, FREDERICK M., BINGHAMTON N.Y. 13903, US
