发明名称 SPIN-ON-GLASS COATING DEVICE AND COATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07153752(A) 申请公布日期 1995.06.16
申请号 JP19930329882 申请日期 1993.11.30
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KANAMORI JUN
分类号 H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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