发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH07153771(A) 申请公布日期 1995.06.16
申请号 JP19930301626 申请日期 1993.12.01
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAMAKI SADAJI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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