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发明名称 MAINTENANCE MECHANISM OF SEMICONDUCTOR WAFER PROCESS EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH07147241(A) 申请公布日期 1995.06.06
申请号 JP19930292902 申请日期 1993.11.24
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 YOSHIDA MAKOTO;YAGI TORU
分类号 H01L21/677;H01L21/205;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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