发明名称 |
SUBSTRATE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07142640(A) |
申请公布日期 |
1995.06.02 |
申请号 |
JP19930284730 |
申请日期 |
1993.11.15 |
申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
NAGASE TOSHIYUKI;YOSHIDA HIDEAKI |
分类号 |
H01L23/13;H01L23/12;H05K1/02;H05K1/03;H05K1/05;H05K3/34;(IPC1-7):H01L23/13 |
主分类号 |
H01L23/13 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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