发明名称 SUBSTRATE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07142640(A) 申请公布日期 1995.06.02
申请号 JP19930284730 申请日期 1993.11.15
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP 发明人 NAGASE TOSHIYUKI;YOSHIDA HIDEAKI
分类号 H01L23/13;H01L23/12;H05K1/02;H05K1/03;H05K1/05;H05K3/34;(IPC1-7):H01L23/13 主分类号 H01L23/13
代理机构 代理人
主权项
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