发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07142478(A) 申请公布日期 1995.06.02
申请号 JP19930285373 申请日期 1993.11.15
申请人 NEC CORP 发明人 OKABAYASHI HIDEKAZU;KITAMURA HIROYUKI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
地址