发明名称 PRODUCTION OF MOS TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH07142719(A) 申请公布日期 1995.06.02
申请号 JP19930146464 申请日期 1993.06.17
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 MIYAZAKI YOSHIHISA;IWASAKI YOSHIMITSU;MATSUKAWA NAOKI
分类号 H01L21/336;H01L21/265;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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