发明名称 真空阀控制装置和真空阀
摘要 真空阀15包括:将真空力供给阀体71的压力控制腔83,它能将阀工作腔25与真空通道连通;一检测阀68,它能将真空力引入压力控制腔83中;一由液体检测隔膜60直接驱动的活塞65,其中活塞65驱动检测阀68;和一开启时间调节阀,将该阀打开以便使引入压力控制腔83中的真空消失,其中开启时间由真空排出管14内的真空自动控制。而且,当液面检测管接头56内部迅速降压时,压力调节腔102中的压力通过阻尼隔膜59和支撑部分112之间形成的间隙迅速排泄。
申请公布号 CN1103176A 申请公布日期 1995.05.31
申请号 CN94108850.2 申请日期 1994.06.07
申请人 积水化学工业株式会社 发明人 山部泰男;大哲史
分类号 G05D9/04 主分类号 G05D9/04
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 黄力行
主权项 1、一种用于控制真空阀开启和关闭的真空阀控制装置,所述真空阀通过真空来开启和关闭管形接头,所述管形接头用于连接处于真空状态的真空排出管和抽吸池中液体的抽吸管,所述真空阀控制装置包括:一液面检测管,其内部压力随池中液面升降而波动;一压力调节腔,它与所述液面检测管连通;一液面检测隔膜,它在压力调节腔中的压力通过连通孔作用在所述隔膜上时发生弹性变形;一转换阀,它由真空作用来改变方向,以便有选择地将真空或空气送入所述真空阀中;一检测阀,它用于控制送入所述转换阀的真空的供给和停止;和一活塞,它用于使所述检测阀换向,所述检测阀通过所述液面检测隔膜的弹性变形来驱动,其特征在于一阻尼隔膜设在所述液面检测管接头和所述压力调节腔之间,所述阻尼隔膜至少有一小通孔,以便在所述液面检测管接头中的压力逐渐升高时,所述阻尼隔膜不会发生变形,由于压力调节腔泄压而使阻尼隔膜产生变形,致使压力调节腔和液面检测隔膜之间形成的连通孔被关闭,当压力调节腔中的压力迅速上升时,所述阻尼隔膜能够将压力从它的边缘释放到液面检测管中。
地址 日本大阪府