| 发明名称 |
METHOD FOR PREPARATION OF SURFACE OF SUBSTRATE BEFORE APPLICATION OF PHOTORESIST |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
RU1491269(C) |
申请公布日期 |
1995.05.27 |
| 申请号 |
SU19874269650 |
申请日期 |
1987.06.29 |
| 申请人 |
GUNINA N.M.;DYNNIK A.P.;POYARKOV I.I. |
发明人 |
GUNINA N.M.;DYNNIK A.P.;POYARKOV I.I. |
| 分类号 |
H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/312 |
主分类号 |
H01L21/312 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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