| 发明名称 |
LIQUID REMOVAL DEVICE, TESTING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE AND COOLING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07135193(A) |
申请公布日期 |
1995.05.23 |
| 申请号 |
JP19930279262 |
申请日期 |
1993.11.09 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI HOKKAI SEMICONDUCTOR LTD |
发明人 |
ISHII MASAYA |
| 分类号 |
F25D1/02;F26B11/08;H01L21/304;H01L21/66;H01L23/467;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
F25D1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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