| 发明名称 |
FORMATION OF DIELECTRIC FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07126845(A) |
申请公布日期 |
1995.05.16 |
| 申请号 |
JP19930276951 |
申请日期 |
1993.11.05 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
TANI NORIAKI;ISHIKAWA MICHIO;SUZUKI IKUO;NAKAMURA KYUZO;SUU KOUKOU |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/44;H01L21/203;H01L21/31;H01L21/314;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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