发明名称 PLASMA TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07126872(A) 申请公布日期 1995.05.16
申请号 JP19930292547 申请日期 1993.10.29
申请人 ANELVA CORP 发明人 OGAWARA YONEICHI
分类号 C23C16/50;C23F4/00;H01J5/02;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/306 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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