| 发明名称 |
SUBSTRATE TRANSPORTING DEVICE FOR FILM FORMING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07126848(A) |
申请公布日期 |
1995.05.16 |
| 申请号 |
JP19930279497 |
申请日期 |
1993.11.09 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
HAMAMOTO KAZUTOSHI;KATO KENTARO;SASAGAWA EISHIRO;KONDOU TAKANOBU;NAWATA YOSHIICHI |
| 分类号 |
B01J3/02;C23C14/34;C23C14/50;C23C16/44;C23C16/50;C30B25/12;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):C23C14/50 |
主分类号 |
B01J3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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