Verfahren und Vorrichtung zur chemischen Abscheidung aus der Dampfphase mittels eines durch Magnetron verstärkten Plasmas.
摘要
申请公布号
DE3587964(T2)
申请公布日期
1995.05.11
申请号
DE19853587964T
申请日期
1985.10.24
申请人
APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US
发明人
FOSTER, ROBERT, SAN FRANCISCO, CA 94127, US;WANG, DAVID NIN-KOU, CUPERTINO, CA 95014, US;SOMEKH, SASSON, REDWOOD CITY, CA 94065, US;MAYDAN, DAN, LOS ALTOS HILLS, CA 94022, US
