一种膜层热膨胀系数测试仪

摘要

本实用新型公开一种测量技术领域的膜层热膨胀系数测试仪，它包括样品室、调节试样架、电加热器、测温热电偶，防震工作台以及测量机构。调节试样架的X、Y、Z轴分别由三台电机带动，Z轴装于机架下部。电加热器和测温热电偶以及X、Y轴的电机分别固定于保温材料制成的箱体上，测量机构由两根石英测杆及中部的差动电容组成双微位移测量机构。本仪器可实现微米级或亚微米级膜层热膨胀系数的高精度测量，其分辨率可达0.1nm。

主权项

1、一种膜层热膨胀系数测试仪，它包括样品室、调节试样架、电加热器、测温热电偶、防震工作台以及测量机构，其特征在于：所述的样品室为保温材料制成的箱体，所述的调节试样架由X、Y、Z轴组成三维座标，并分别用三只电机带动，Z轴装于所述的机架下部，所述的电加热器和测温热电偶以及X轴、Y轴的电机分别固定于样品室的箱体上。所述的测量机构由两根石英测杆及其中部的差动电容组成双微位移测量机构。