| 发明名称 |
SURFACE OBSERVING EQUIPMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07113633(A) |
申请公布日期 |
1995.05.02 |
| 申请号 |
JP19930257172 |
申请日期 |
1993.10.14 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
WASHISAWA TERUYOSHI;OGUCHI TAKAHIRO;YAMANO AKIHIKO;SHITO SHUNICHI;SAKAI KUNIHIRO |
| 分类号 |
G01B7/34;G01B21/30;G01Q10/04;G01Q30/04;G01Q30/08;G01Q30/20;G01Q60/10;G01Q60/24;G06T1/00;H01J37/28;(IPC1-7):G01B21/30 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
