发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH07111332(A) 申请公布日期 1995.04.25
申请号 JP19930257044 申请日期 1993.10.14
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KATSUKADO RAMESHIYU
分类号 H01L21/22;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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