Détecteur de rotation et procédé de fabrication d'un tel détecteur, en réalisant sa structure dans un monocristal de silicium.

摘要

a) Détecteur de rotation et procédé de fabrication d'un tel détecteur, en réalisant sa structure dans un monocristal de silicium.
b) caractérisé en ce que le détecteur d'accélération (2) est encapsulé de façon hermétique et en ce qu'un procédé pour la mise en œuvre du détecteur est caractérisé en ce qu'on applique des structures métalliques pour mettre en contact le détecteur d'accélération (2) et pour les chemins conducteurs (6) sur la face avant par attaque chimique de cavités (9) dans la face arrière de la plaque de silicium (3), on dégage la structure d'au moins un oscillateur (1).