| 发明名称 |
METHOD OF INSPECTION OF HOMOGENEITY OF SEMICONDUCTOR MATERIALS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
RU2032962(C1) |
申请公布日期 |
1995.04.10 |
| 申请号 |
SU19874322797 |
申请日期 |
1987.10.29 |
| 申请人 |
INSTITUT FIZIKI DAGESTANSKOGO NAUCHNOGO TSENTRA RAN |
发明人 |
DAUNOV MENASH I;MAGOMEDOV ALI B |
| 分类号 |
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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