| 发明名称 |
METHOD OF RECRYSTALLIZATION OF FILMS OF HIGH-MELTING OXIDES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
RU2032961(C1) |
申请公布日期 |
1995.04.10 |
| 申请号 |
SU19904796109 |
申请日期 |
1990.02.27 |
| 申请人 |
INZHENERNYJ TSENTR "PLAZMODINAMIKA" |
发明人 |
KNYAZEV IGOR V;PAVLOV GEORGIJ YA;VYBORNOVA LARISA N |
| 分类号 |
H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/324 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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