发明名称 METHOD FOR PULLING UP SINGLE CRYSTAL AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH0789791(A) 申请公布日期 1995.04.04
申请号 JP19930259293 申请日期 1993.09.22
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP;MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP 发明人 ABE HIROSHIGE;ONO NAOKI;ARAI YOSHIAKI;KIDA MICHIO;FURUYA HISASHI
分类号 C30B15/14;C30B29/06;(IPC1-7):C30B15/14 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
主权项
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